扫描探针显微镜AFM5500MⅡ配置宽范围平板扫描器,降低了机械原因造成的测量误差。自动悬臂更换等自动化功能有助于提升品质管理,提高测试效率。单使用AFM5500MⅡ测试可以得到形貌和物理测量结果,再利用与SEM/CSI等其他显微镜的共享坐标样品台功能,可以实现高精度的故障解析与缺陷评价。此外,由于新增了AFM标记功能,多台设备可以轻松测量样品的同一位置。HITACHI日立全自动扫描探针显微镜AFM5500MⅡ规格:型号AFM5500M尺寸・重量装置外观尺寸・重量※1750 mm(W) x 877 mm(