MX30系列晶圆测厚仪产品简介:MX 30系列是一款坚固而稳定的仪器,用于快速简单地测量直径为50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm和300mm各种晶圆的厚度。MX30系列晶圆测厚仪测量原理:MX30系列采用电容式距离测量方法,可用于晶圆厚度的非接触式测量。电容式距离传感器位于要测量的物体上方和下方的刚性支架中,并且彼此相距特定距离。到物体的两个距离之和是其厚度的量度。计算值可以从五位数字显示器上读取,也可以通过仪器的内置串行接口输出。可以用量块检查校准。MX30系列晶圆测厚仪主要