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非接触厚度电阻率测试仪

所属系列:ZJYQ-HYYQBDT-JINGXIANG

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产品描述

本设备为非接触无损测量设备,测试过程中对硅片表面以及内部不会造成损伤。特别适用于代替四探针法用于半导体硅片成品分选检验。一台仪器可以同时对厚度和电阻率两个指标进行测试分选,减少了测试工序和测试时间,提高了测试效率。
非接触厚度电阻率测试仪仪器构成:
1、测试主机:1 台
2、电源线:1 根
3、串口数据线:1 根
4、电脑端软件:1 套  
5、塑料定位柱:2 个
主要指标 :
样品要求:厚度小于 600um 的半导体硅片以及其他类似材料。
电阻率范围:L 档: 0.2-5 Ω•cm   H 档: 5-50Ω•cm
厚度范围:100-600 um

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