所属系列：ZJYQ-GYXWSPM-HITACHI
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HITACHI日立全自动扫描探针显微镜AFM5500MⅡ规格：
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型号 |
AFM5500M |
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尺寸・重量 |
装置外观尺寸・重量※1 |
750 mm(W) x 877 mm(D) x 1400 mm(H)、约361 kg |
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AFM主机外观尺寸・重量※1 |
340 mm(W) x 502.5 mm(D) x 546 mm(H)、约31.6 kg |
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检测系统 |
检测方式 |
光杠杆法 |
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光源 |
SLD（发光二管激光器） |
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悬臂加振方式 |
压电激振 |
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规格 |
基本规格 |
RMS噪音水平※2 |
≤0.04 nm |
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重现性※2 |
XY ≤ 15 nm（3σ、10 μm垂直间隙测量） |
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XY正交性※2 |
90°±0.5°（在扫描角度0°、45°、90°时） |
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平坦度（圆弧误差）※2 |
≤2 nm/50 μm |
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大样品尺寸 |
大 φ100 mm（4英寸）、厚度 20 mm、重量 2 kg |
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扫描器（扫描范围） |
XY:大 200 μm/Ｚ:大 15 μm（XY:闭环控制/Z: 位移传感器测量） |
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光学显微镜视野※3 |
放大倍率: 1X～7X |
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基本功能 |
AFM、DFM、PM（相位）、FFM |
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减震隔音机构 |
台式主动减震台、隔音罩 |
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自动精密马达台 |
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大观察范围 |
直径 100 mm（4英寸） |
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马达台移动范围 |
XY≥100 mm、Z≥21 mm |
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小步进※4 |
XY 2 μm、Ｚ 0.04 μm |
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AFM主机 |
RealTuneⅡ |
自动调节悬臂振幅、接触力、扫描速度以及信号反馈 |
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操作界面 |
导航功能、多窗口显示功能（测试/分析）、3D图像叠加功能、扫描可动范围/测量记录显示功能、数据批处理分析功能、探针评价功能、样品台对中功能、程序功能、故障诊断功能 |
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实时测量（像素点） |
四通道测量（大2048x2048) |
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长方形扫描 |
2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、 |
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数据分析 |
三维显示功能、线粗糙度分析、面粗糙度分析、截面图（任意、平均） |
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自动控制功能 |
自动更换悬臂、光轴自动调节 |
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选配功能 |
测量环境 |
大气环境 |
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扩展测量模式（选配） |
SIS形貌、SIS物性、SIS-ACCESS、SIS-QuantiMech（弹性模量测定功能） |
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其他功能（选配） |
高至100 V 偏压放大器、 |
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共享坐标样品台功能 |
AFM标记 |
样品厚度 |
4 mm以下 |
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SEM-AFM |
大样品尺寸 |
φ20 mm、厚度 7 mm |
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对中精度 |
≤±10 μm（AFM对中精度） |
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支持型号 |
欢迎垂询。 |
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CSI-AFM |
大样品尺寸 |
φ80 mm、厚度 7 mm |
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对中精度 |
≤±10 μm（AFM对中精度） |
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支持型号 |
欢迎垂询。 |
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电源 |
AC 100～240 V±10％、单相、50/60 Hz、15A、1系统、D种接地、带接地 |
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※1仪器外观尺寸和重量均为标准配置的数值。这些数值会有装配公差，仅供参考。
※2规格值为出厂标准值。不力求所有安装环境均可得到同一性能。
※3显微镜视野尺寸为设计值中大测量区域。因元件差异可能有所不同。
※4精密电动马达台的小步距为设计值。
