所属系列：ZJYQ-GYXWEM-Phenom
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飞纳台式电镜产品包含：台式场发射扫描电镜、CeB6 灯丝系列台式扫描电镜、Particle X 系列全自动扫描电镜。
ProX 电镜能谱一体机在满足材料表面形貌和元素分析的基础上，还可以通过软件控制硬件，实现材料分析自动化。此外，用户可以通过特定的软件从 SEM 图像中快速提取样品特征信息，测量数据、统计图表可以根据选择的格式输出在报告里。
Phenom XL G3大样品仓台式扫描电子显微镜系统可对最大 100 x 100mm 的样品进行分析，8nm 的分辨率为分析提供更多的细节。
Phenom Pharos G2 台式场发射扫描电镜 (FE-SEM) 的出现彻底颠覆了传统认知，它不仅体积小巧，更能提供媲美大型仪器的性能指标。操作简便性大幅提升，维护成本降低。这些优势正在改变科研工作和企业研发的方式，在日益竞争激烈的市场环境下，进一步加速研发进程。
飞纳台式电镜规格参数示例：
产品型号
Phenom ProX G7
Phenom XL G3
Phenom Pro G7
产品全称
ProX 电镜能谱一体机
XL 大仓室自动化电镜
Pro 高分辨率专业版
光学放大
27 - 160 X
3 - 19 X
27 - 160 X
电子光学放大
350,000 X
200,000 X
350,000 X
分辨率
优于 6 nm
优于 8 nm
优于 6 nm
电子枪
优于3000小时CeB6灯丝，平均5年换灯丝
优于3000小时CeB6灯丝，平均5年换灯丝
优于3000小时CeB6灯丝，平均5年换灯丝
光学导航相机
彩色
彩色
彩色
加速电压
基本模式：2kV, 5 kV, 10 kV, 15 kV, 20kV
基本模式：2kV, 5kV, 10kV, 15kV, 20kV
基本模式：2kV, 5 kV, 10 kV, 15 kV, 20kV
真空模式
高 - 低真空
低 - 中 - 高三种模式
高 - 低真空
探测器
背散射探测器
背散射探测器
背散射探测器
高级模式：4.8 KV - 20.5 KV 连续可调
高级模式：4.8 KV - 20.5 KV 连续可调
高级模式：4.8 KV - 20.5 KV 连续可调
二次电子探测器（选配）
能谱探测器
二次电子探测器（选配）
能谱探测器（选配）
二次电子探测器（选配）
