KLA半导体检测设备

KLA公司可供应薄膜厚度测量系统、方块电阻测量系统、探针式轮廓仪、光学轮廓仪、 纳米压痕仪、缺陷检测系统等多种类型半导体检测仪器。下文选取个别产品示例。

一、Filmetrics® 薄膜厚度测量系统
Filmetrics® F 系列反射仪可在数秒内精准测量薄膜厚度。 这些易于使用、经济实惠的厚度测量工具可与智能软件及各种附件与配置相结合，使用高度灵活，可测量厚 1 纳米至 3 毫米的薄膜。
产品示例：

 Filmetrics® F20 系列薄膜厚度测量仪器
广泛应用的通用式桌上型薄膜厚度和折射率测量系统。
产品描述：
薄膜测量范围：1纳米 到 3毫米。
Filmetrics F20 可测量样品材料的厚度、反射率、透射率和光学特性。 通过USB连接，仅需几分钟即可完成机台设置，一秒内获得测量结果。

 产品功能：
桌上型薄膜测量系统
每款系统均配备直观的分析软件
光斑尺寸低至 20µm
工作台配置、XY 测绘或在产线上配置
每款系统均有含 130 多种材料的数据库
应用：
可测量厚度、折射率、反射率和透射率的场景包含：
单层或多层的堆叠式膜层结构
光滑的透光或吸光薄膜
无支撑膜层
液体膜或空气间隙
平面或曲面上的膜层结构

  行业：
半导体
光刻胶、工艺薄膜和介电质
显示器
有机发光二极管（OLED）、玻璃厚度、氧化铟锡（ITO）和其他透明导电氧化膜（TCO）
光学涂层
硬质涂层厚度、增透膜涂层
生物医学
聚对二甲苯
医疗器械

二、方块电阻测量系统
薄膜电阻测量对于任何用到导电薄膜的行业都非常关键。无论是半导体制造，还是实现可穿戴技术所需的柔性电子产品，都涉及薄膜电阻测量。 依托 KLA 超过 45 年在薄膜电阻测量领域的创新积累，Filmetrics® R 系列薄膜电阻测量仪器应运而生。自 1975 年推出第一台电阻率计以来，我们已彻底改变导电层的薄层电阻测量和厚度测量方法。
产品示例：

 Filmetrics® R50-4PP 四点探针系统和 Filmetrics R50-EC 涡流系统
Filmetrics R50 重磅推出，为 KLA Instruments 测量产品线增添桌上型薄膜电阻和电导率测绘系统。 R50 的功能经过优化升级，可精准测绘金属薄膜的均匀度、表征离子掺杂和注入、测绘薄膜厚度和电阻率，以及以非接触方式测量薄膜厚度。
四点探针（4PP）和涡流（EC）是测量薄膜电阻的两种常用技术。 Filmetrics R50-4PP 和 R50-EC 系统集成了 KLA 领先业界的校准技术，无论采取何种测量手段，准确性都有十足保障。
产品功能：
提供四点探头（4PP）或非接触式涡流（EC）配置
60 毫米 Z 轴调节范围，高度可粗调或精调，进样速度可调节
4PP 可测量导电和半导体薄膜电阻，涵盖十个数量级的薄膜电阻测量范围
用户可指定 使用矩形、线性、极坐标和自定义配置对样品进行测绘
高精度 X-Y 载物台，移动行程可达 300 毫米
易于使用的软件界面
与所有 KLA 薄膜电阻探头适配
应用：
金属薄膜和背面薄膜电阻均匀度
离子注入工艺优化
基板电阻率
薄膜电阻
薄膜厚度或电阻率
薄膜电导率
块体电导率
数据采集和可视化
行业：
汽车
太阳能
LED
半导体晶圆基板
玻璃基板
电路板和 PCB 图案化功能
平板显示器层和图案化功能
VR 显示器
金属箔
导电橡胶和弹性体
学术研究

三、探针式轮廓仪
KLA Instruments™ Alpha-Step®、Tencor P- 和 HRP®系列探针式轮廓仪提供高精度2D和3D表面量测，测量台阶高度、表面粗糙度、翘曲度和应力以及优秀的稳定性和可靠性，满足您的研发和生产要求。
产品示例：
Alpha-Step®D-500探针式轮廓仪

 Alpha-Step D-500探针式轮廓仪能够测量几纳米到1200微米高的2D台阶。D-500也支持在研发和生产环节中对粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。D-500探针式轮廓仪搭载了140毫米手动载台和具有增强影像控制的光学系统。

产品描述：
Alpha-Step D-500探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。

轮廓仪探针测量技术的一个优势是它是接触式直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这可以对您的工艺进行量化，以确定添加或移除的材料量，以及通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。

特征：
台阶高度：纳米级到1200微米
微力：0.03至15毫克
视频：5MP高分辨率彩色相机
梯形失真校正：可消除侧视视图造成的失真
弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差
小巧的尺寸：体积最小的台式探针式轮廓仪
软件：用户友好的软件界面
应用
台阶高度：2D台阶高度
纹理：2D粗糙度和波纹度
形状：2D翘曲和形状
应力：2D薄膜应力

四、光学轮廓仪
Profilm3D® 和 Zeta™ 光学轮廓仪为3D表面形貌测量提供快速、简便、非接触式的解决方案。光学轮廓仪组合支持多种测量技术，包括白光干涉法，真彩色成像和 ZDot ™ 点阵共聚焦。 KLA可以提供满足独特需求的轮廓仪解决方案。
产品示例：
Zeta™-20光学轮廓仪

 Zeta™-20是一个高度集成的光学轮廓显微镜，可在紧凑、耐用的包装下提供3D量测和成像功能。该系统采用ZDot™ 技术，可同时收集高分辨率3D形貌信息和样品表面真彩色图像。Zeta-20 3D显微镜支持研发和生产环境，具有多模光学器件、易于使用的软件和性价比高等优势。Zeta-20HR 提供专业的太阳能电池量测解决方案。

产品说明：
Zeta-20台式光学轮廓仪是一款非接触式3D显微镜及表面形貌测量系统。该 3D 光学量测系统由已获得专利的 ZDot 技术及多模式光学组件提供支持，可支持各种样品测量：透明和不透明、低反射率和高反射率、光滑表面和粗糙纹理，以及从纳米到厘米范围的台阶高度。

Zeta-20台式光学轮廓仪集六种不同的光学量测技术于一身，是一款可灵活配置且易于使用的系统。ZDot测量模式同时收集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩色图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量法、诺马斯基光干涉对比显微法和剪切干涉测量法，膜厚测量包含使用ZDot模式测量和光谱反射的测量方法。Zeta-20 也是一款高端显微镜，可用于抽样检查或缺陷的自动检测。Zeta-20通过提供全面的台阶高度、粗糙度及薄膜厚度测量以及缺陷检测功能来支持研发 (R&D) 和生产环境。

特征：
配合ZDot及多模式光学组件，光学轮廓仪可以容易地实现各种各样的应用
用于抽样检查和缺陷检测的高质量显微镜
ZDot: 同时收集高分辨率的3D扫描扫描信息和样品表面真彩色图像
ZXI：采用z方向高分辨率的广域测量白光干涉仪 ZIC：亚纳米级粗糙度表面的定量3D数据的干涉对比
ZIC：图像对比度增强，可实现亚纳米级粗糙度表面的定量分析
ZSI：z方向高分辨率
图像的剪切干涉测量法
ZFT：通过集成式宽频反射测量法测量薄膜厚度和反射率
AOI：自动光学检测，可量化样品缺陷
生产能力：具有多点量测和图形识别功能的全自动测量
台阶高度：从纳米级到毫米级的3D 台阶高度
表面：光滑表面到粗糙表面上的粗糙度和波纹度测试
翘曲：2D或3D翘曲
应力：2D 或3D 薄膜应力
薄膜厚度：透明薄膜厚度由 30nm 至 100µm 不等
缺陷检测：捕获大于 1µm 的缺陷
缺陷表征：KLARF文件可用于寻找缺陷，以确定划痕缺陷位置，测量缺陷3D表面形貌

五、纳米压痕仪
纳米压痕测试仪能够提供硬度、杨氏模量和其他力学属性测量，以帮助用户探索新材料，减少产品故障并加快上市节奏。
产品示例：
iMicro纳米压痕仪

 iMicro纳米压痕仪可轻松测量硬质涂层、薄膜和小尺寸材料等。其准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度测试、划痕和纳米级万能试验等多种纳米力学测试。作动器易于更换，能够提供大范围的动态载荷和位移，对于从软质聚合物到硬质金属/陶瓷等材料，均可以进行准确而可重复的测试。模块化的功能选项可以适配各种应用：材料力学特性图谱、频率相关特性测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iMicro提供一整套的扩展功能选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D材料力学性能成像、Gemini 2D作动器用于摩擦学和其它双轴力学测量。
产品描述
iMicro 纳米压痕仪标配InForce 1000作动器，用于进行纳米压痕和万能纳米力学试验，并可选配InForce 50作动器用于测试较软的材料。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iMicro是一款紧凑型测试平台，其箱体中内置高速InQuest控制器和隔振框架。各种不同的材料和器件均可以进行测试，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等。

产品特色：
InForce 1000作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换
InForce 50作动器选件，提供最大50mN的法向力，可用于测量较软的材料；Gemini 2D作动器选件，可实现两个方向的动态测量独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准
InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µs
XY运动系统以及易于安装的磁性样品台
高刚度框架，且集成隔振功能
集成显微镜，数字变焦，可实现精确的压痕定位
符合ISO 14577等标准的测试方法
InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在线培训和InView移动应用程序
 

产品应用
硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）
快速材料力学性能成像
ISO 14577 硬度测试
聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量
定量的划痕和磨损测试
高温纳米压痕测试