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MX30系列晶圆测厚仪

所属系列:ZJYQ-HYYQBDT-E+H

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产品描述
MX30系列晶圆测厚仪产品简介:
MX 30系列是一款坚固而稳定的仪器,用于快速简单地测量直径为50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm和300mm各种晶圆的厚度。
MX30系列晶圆测厚仪测量原理:
MX30系列采用电容式距离测量方法,可用于晶圆厚度的非接触式测量。电容式距离传感器位于要测量的物体上方和下方的刚性支架中,并且彼此相距特定距离。到物体的两个距离之和是其厚度的量度。计算值可以从五位数字显示器上读取,也可以通过仪器的内置串行接口输出。可以用量块检查校准。
MX30系列晶圆测厚仪主要技术参数示例:
1)晶圆直径示例:200mm, 300mm
2)厚度精度:±0.5 µm
3)分辨率:0.1μm
5)厚度范围示例:0-1600 µm
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