所属系列：ZJYQ-GYXWEM-HITACHI
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日立场发射扫描电子显微镜SU8600系列规格：
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机型 |
SU8600 系列 |
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电子光学系统 |
二次电子像分辨率 |
0.6 nm@15 kV |
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0.7 nm@1 kV * |
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放大倍率 |
20 to 2,000,000 x |
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电子枪 |
冷场发射电子源，支持柔性闪烁功能，包含阳烘烤系统。 |
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加速电压 |
0.5 to 30 kV |
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着陆电压 * |
0.01 to 20 kV |
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探测器 |
（部分为选配项） |
上探测器(UD) |
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UD ExB能量过滤器，包含SE/BSE信号混合功能 |
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下探测器(LD) |
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顶探测器(TD) |
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TD能量过滤器 |
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镜筒内背散射电子探测器(IMD) |
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半导体式背散射电子探测器 (PD-BSED) |
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新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD) |
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阴荧光探测器(CLD) |
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扫描透射探测器(STEM Detector) |
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附件 |
（部分为选配项） |
导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD) |
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软件 |
（部分为选配项） |
EM Flow Creater、HD Capture(高 40,960×30,720 像素） |
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样品台 |
马达驱动轴 |
5轴马达驱动（X/Y/R/Z/T） |
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马达驱动轴 |
X：0~110 mm |
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Y：0~110 mm |
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Z：1.5~40 mm |
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T：-5~70° |
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R：360° |
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样品室 |
样品尺寸 |
大直径：150 mm |
