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SU5000热场式场发射扫描电镜

所属系列:ZJYQ-GYXWEM-HITACHI

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产品描述
电子显微镜(EM)品牌进口|HITACHI日立扫描电子显微镜|SU5000热场式场发射扫描电镜特点:
▲高性能电子光学系统
二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)*
高灵敏度: PD-BSD, 强的低加速电压性能,低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于微区分析
▲性能优良
压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)*
开仓室快速简单换样(大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微区分析: EDS, WDS, EBSD等等
*选配附件
电子显微镜(EM)品牌进口|HITACHI日立扫描电子显微镜|SU5000热场式场发射扫描电镜规格:


项目

内容

分辨率

1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1
3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2

放大倍率

10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)

电子光学系统

电子枪

ZrO /W 肖特基式电子枪

加速电压

0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)

着陆电压

减速模式: 0.1 - 2.0 kV 1

大束流

> 200 nA

探测器

低位二次电子探测器

低真空模式*2

真空范围: 10 - 300 Pa

马达台

马达台控制

5 - 轴自动 (优中心)

可动范围

X0100mm
Y050mm
Z365mm
T-2090°
R360°

大样品尺寸

大直径: 200 mm
大高度: 80 mm

选配探测器

高分辨率顶位二次电子探测器*1

高灵敏度低真空探测器 (UVD)

5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3

能谱仪 (EDS)

波谱仪 (WDS)

背散射电子衍射探测器 (EBSD)

*1:减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)

*2:低真空功能(包含5分割半导体探测器)

*3:空压机(本地采购)


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