所属系列：ZKYQ-GYXWEM-HITACHI
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红外CCD探测器，提高了样品台移动的性
■支持全视野移动。SEM MAP支持大样品的全视野观察支持360度旋转
②随着各种自动化功能的强化，操作性能得到了进一步优化。
■一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI■Report Creator，可利用获得的数据批量生成数据报告
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ITEM |
SU3800 |
SU3900 |
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二级电子分解能 |
3.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式） |
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15.0nm（加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式） |
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背散射电子分解能 |
4.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式） |
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倍率 |
×5～×300,000（照片倍率*1） |
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×7～×800,000（实际显示倍率*2） |
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加速电压 |
0.3kV～30kV |
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低真空度设定 |
6～650 Pa |
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图像位移 |
±50µm（WD＝10mm） |
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大样品尺寸 |
200mm直径 |
300mm直径 |
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样品台 |
X |
0～100mm |
0～150mm |
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Y |
0～50mm |
0～150mm |
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Z |
5～65mm |
5～85mm |
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R |
360°连续 |
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T |
－20°～+90° |
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大可观察范围 |
130mm直径（R并用） |
200mm直径（R并用） |
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大可观察高度 |
80mm（WD=10mm） |
130mm（WD=10mm） |
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电机驱动 |
5轴电机驱动 |
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电子光学系统 |
电子枪 |
预对中钨灯丝电子枪 |
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物像镜头光圈 |
4孔可动光圈 |
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检测系统 |
二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器 |
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EDX分析WD |
WD＝10mm（T.O.A＝35°） |
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图像显示 |
自动光轴调整功能 |
自动光束调整（AFS→ABA→AFC→ABCC） |
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自动光轴调整（实时级别对齐） |
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自动调整光束亮度 |
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自动图像调整功能 |
自动亮度和对比度控制（ABCC） |
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自动对焦控制（AFC） |
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自动标记和焦点功能（ASF） |
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自动灯丝饱和度调整（AFS） |
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自动光束对准（ABA） |
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自动启动（HV-ON→ABCC→AFC） |
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操作辅助功能 |
电子束旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入（点对点测量、角度测量、文本）、预设放大、样品台位置导航功能（SEM MAP）、光束标记功能 |
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配件 |
■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器（UVD）、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成 |
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配件（外部装置） |
能量散射X射线分析仪（EDS）、波长色散X射线分析仪（WDS）、 |
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*1.指正放大倍率为127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的显示尺寸。
*2.指定放大倍率为509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的显示尺寸。
