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日立FlexSEM 1000 II扫描电子显微镜

所属系列:ZJYQ-GYXWEM-HITACHI

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产品描述
FlexSEM 1000 II,凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器,可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新的用户界面,具有亮度和对焦自动调节功能,可以在短时间内进行各种观察。此外,还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”,这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点,实现直观的视野移动。
尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型*1电子显微镜,仍可实现4.0 nm的分辨率
凭借特的高灵敏度二次电子、背散射电子检测器、低真空检测器(UVD*2),可在低加速/低真空下观察时实现高的画质
全新的用户界面,无论用户的熟练程度如何,都可实现高画质和高处理能力
全新的定位功能“SEM MAP”,支持观察时的视野搜索和样品定位
*1 设置到桌面上时,请将机体与电源盒分离

*2 选项


日立扫描电子显微镜行业应用示例:

日立FlexSEM 1000 II扫描电子显微镜规格:

项目

内容

分辨率*3

4.0 nm(二次电子像、加速电压:20 kV、高真空模式)
15.0 nm(二次电子像、加速电压:1 kV、高真空模式)
5.0 nm(背散射电子像、加速电压:20 kV、低真空模式)

加速电压

0.3 kV20 kV

倍率

×6×300,000 (照片倍率)
×16×800,000 (显示器显示倍率)

低真空设置

6100 Pa

电子枪

预对中钨灯丝电子枪

样品台

3轴马达驱动样品台
X050 mmY040 mmZ515 mm
T-1590°R360°
大可观察范围:直径64mmR联用)*4

大样品尺寸

直径80 mm(选配:直径153mm

大样品高度

40 mm

尺寸

机体:450(宽度)×640(进深)×690(高度) mm
电源盒:450(宽度)×640(进深)×450(高度) mm

选项

高度低真空检测器(UVD2.0

能量色散型X射线检测器(EDS

软件

Multi Zigzag(连续视野图像导入功能)

*PC、桌子、监控器由客户准备

*3机体和电源盒连接时候

*4使用标准支架时


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