所属系列：ZJYQ-GYXWEM-HITACHI
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台式扫描电子显微镜TM4000PlusIII/TM4000III特点：
★节省人力成本，降低操作技术难度
▲多样品自动化观察：观察工作流程的自动化功能（TM4000PlusIII）
可以作为程序保存样品台移动、倍率变更、拍照等观察流程。程序化的观察流程，一键单击即可自动执行操作。
为不同类型客户（如日常使用量较多，需进行多样品观察的客户，对观察条件不确定的客户等）节省人力成本，降低操作技术难度。
▲实现快速自动颗粒分析：大电流功能 + AZtecLiveLite 颗粒分析功能
工业产品的清洁度分析和使用过滤膜收集颗粒并进行自动分析的测量颗粒较多，因此需要的分析时间较长。
TM4000PlusIII配有全新的大电流模式，支持牛津仪器公司的能谱探测器，以及AZtecLiveLite颗粒分析功能包，从而可以实现快速的颗粒分析。
★设备管理更有规划性
▲日常维护：灯丝监控
搭载灯丝监测功能，可在需要更换灯丝时发出提示。
多人使用设备时，可减少突然灯丝烧断导致更换灯丝的担忧，从而可以更合理的规划使用设备。
▲自动检查仪设备状态：AutoOQ（Auto Operational Qualification)
此功能可查看SEM状态报告，可掌握设备状态并共享给服务工程师。
★作为全新教学设备
▲洞察无需样品前处理的微观世界：低真空功能 + 高灵敏度背散射电子探测器
可以直接观察各种样品（如植物、矿石、食品等）的显微图像，
TM4000PlusIII/TM4000III的低真空功能减少了样品前处理过程，通过高灵敏度的背散射电子探测器可快速获取图像。
▲作为Python编程教学演示设备：观察工作流程的自动化功能（TM4000PlusIII）
培养并保障数字化人才是全球重要的课题之一。
TM4000PlusIII的自动化功能中融入了“顺序语句”“循环语句”“条件语句”等编程中重要的概念，通过TM4000PlusIII操作可以体验学习编程。
台式扫描电镜TM4000PlusIII/TM4000III规格：
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项目 |
TM4000PlusIII |
TM4000III |
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倍率 |
×10～×100,000（照片倍率） |
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加速电压 |
5 kV、10 kV、15 kV、20 kV |
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图像信号 |
背散射电子 |
背散射电子 |
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真空模式 |
导电体（仅背散射电子） |
标准 |
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样品可移动范围 |
X：40 mm Y：35 mm |
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大样品尺寸： |
80 mm（直径） 50 mm（厚度） |
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电子枪 |
预对中钨灯丝电子枪 |
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检测器 |
背散射电子：高感度4分割 背散电子检测器 |
背散射电子：高感度4分割 背散射电子检测器 |
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排气系统 |
涡轮分子泵：67 L/s 1台 |
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马达台 |
自动马达台 |
手动样品台 |
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尺寸与重量 |
主机：330（宽）×614（纵深）×547（高）mm 55 kg |
330（宽）×617（纵深）×547（高）mm 53 kg |
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隔膜泵：144（宽度）×270（纵深）×216（高度）mm |
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