PB1000型微纳米力学综合测试系统

所属系列：ZJYQ-LXSYQT-NANOVEA

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产品描述

PB1000型微纳米力学综合测试系统产品特性：
- 模块化设计：可在一台仪器集成纳米压痕仪、纳米划痕仪、微米压痕仪、微米划痕仪4款仪器。
- 压痕测试符合ISO14577与美国ASTM E2546标准，划痕测试完全符合ISO 20502、1518、ASTM、D7027、D1624、D7187、C171标准。
- 载荷加载系统：采用闭环载荷加载垂直加载，准确性远远优于传统的开环载荷加载技术及悬臂加载技术，可力求施加载荷的精准性。
- 载荷驱动方式：高精度压电陶瓷驱动，精度远远优于电磁力驱动。
- NANOVEA高精度电容式传感器来能够力求系统够实现高精度的测量可力求压入深度与划入深度实时测量。
- 采用encoder高精度光栅尺样品台，定位精度可达250nm以内。
- 特的热飘逸控制技术：纳米压痕仪的热飘逸为<0.05nm/s，同时通过的硬度测试软件，利用热飘逸补偿技术可将热飘逸总量控制在1nm以内；另外，仪器采用立式结构，电子单元在左右两边，热量往上漂不会对电子单元产生影响，从而得到非常小的热漂移。
- 划痕具有全景成像模式
- NANOVEA公司金刚石面积函数校准技术，只需要压一次就可以对针尖面积函数进行校准实现准确测量！
PB1000型微纳米力学综合测试系统主要技术参数：
1）纳米压痕仪：
- 静态加载模式大加载载荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN
- 动态加载模式DMA:0.1-100Hz
- 载荷分辨率：3nN
- 可实现的小载荷：0.1mN
- 加载速率：0.04-12000mN/min
- 大压入深度（电容传感器）： 250μm/1mm
- 位移分辨率：0.0003nm
- 快速压痕功能：做100个mapping点只需5分钟
- 热飘逸<0.05nm/s(室温条件下)
2）纳米划痕仪：
- 划痕正向力大载荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN
- 载荷分辨率：3nN
- 划痕正向力小载荷：0.1mN
- 大划痕深度：250µm/1mm
- 大划痕长度：50mm
- 划痕速度：0.05-600mm/min
- 位移分辨率：0.0003nm
- 大深度：250μm/1mm
- 深度分辨率：0.0003nm
- 大摩擦力：400mN/1800mN
- 摩擦力分辨率：7μN
3）微米压痕仪：
- 大加载载荷：40N/200N
- 载荷分辨率：2.4μN /12μN
- 载荷噪声水平（RMS）：0.1mN/0.5mN
- 可实现的小载荷：2mN/10mN
- 加载速率：0.01-500N/min / 0.05-1000N/min
- 快速压痕功能：做100个mapping点只需12分
- 深度范围（电容式传感器）：1mm
- 深度分辨率：0.01nm
- 深度分噪声水平（RMS）: 0.5nm
4）微米划痕仪：
- 划痕正向力大载荷：40N/200 N
- 划痕正向力小载荷：2mN/10mN
- 大划痕深度：1mm
- 深度分辨率：0.01nm
- 深度分噪声水平（RMS）: 0.5nm
- 大划痕长度：50mm
- 划痕速度：0.1-1200mm/min
- 大摩擦力：20N/200N
- 摩擦力分辨率：1.3mN/13mN
5）精密定位平台：
- XY方向移动范围：150mm*150mm
- Z方向允许的大样品空间：150mm
- 工作台XY方向定位分辨率：10nm
- 工作台XY方向定位精度：250nm
- Z方向可自动移动移动范围：50mm
6）光学金相显微镜成像系统：
- 物镜的放大倍率分别为：5X，10X，20X，50X，1000X
- 总的放大倍率分别为：400X，800X，1600X，4000X，8000X，
7）原子力显微镜AFM的技术参数（高分辨率）：
- XYZ方向大扫描范围：100µm *100µm *12µm
- XY方向移动分辨率：0.1nm
- Z方向的测量分辨率：0.02nm

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