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半导体与平板显示器检测显微镜MX63/MX63L

所属系列:ZJYQ-GYXWJC-OLYMPUS

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产品描述

半导体与平板显示器检测显微镜MX63/MX63L简介:

奥林巴斯MX显微镜的设计理念是为客户提供更高的操作效率。MX显微镜为用户确保了四个等级的:快速入门、简易操作、失败分析和扩展功能。

MX63/MX63L

让您的大尺寸样品检测流程更加顺畅

MX63MX63L显微镜系统经过优化,适用于Z大尺寸300 mm的晶圆、平板显示器、电路板以及其他大尺寸样品的高质量检测。其采用的模块化设计使您能够选择需要的组件,获得根据应用定制的系统。

这两款符合人体工学设计且人性化的显微镜有助于在提高工作效率的同时,保持检测员的工作舒适性。与PRECiV图像分析软件结合使用时,可以简化从观察到报告创建的整个工作流程。


多功能

设计满足电子行业的人体工学和安全性要求,并以更多功能提高分析能力。


人性化

简化的显微镜设置使用户可以更轻松地进行系统设置的调整和重现。


成像技术

成熟可靠的光学器件和成像技术可提供清晰的图像和可靠的检测。


模块化

用户可以使用适合其应用的组件进行系统定制。


应用图像库

图像管理功能可为您呈现您真正想要观察的内容。


MX63系列旨在使客户能够选择各种光学组件,以满足其特定的检测和应用需求。该系统可使用所有观察方法。用户还可以从各种PRECiV图像分析软件包中进行选择,以满足其特定的图像采集和分析需求。

两个系统兼容多种样品规格

MX63系统可处理尺寸达200 mm的晶圆,而MX63L系统可以处理尺寸达300 mm的晶圆,但占地面积却与MX63系统一样小。模块化设计便于您根据自身的特定需求定制显微镜。


红外兼容性

红外观察可以使用红外物镜进行,该物镜利用硅透射红外光的特性,使操作员能够对封装和安装在印刷电路板上的集成电路芯片内部进行无损检测。5倍至100倍红外物镜可实现从可见光波长到近红外波长的色差校正。特别是对于20倍或更高倍率的物镜,可通过校正环对覆盖在观察对象上的硅层引起的像差进行校正,从而获得清晰的图像。


半导体与平板显示器检测显微镜MX63/MX63L技术规格:

MX63

MX63L

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正系统)

显微镜镜架

反射光照明

白光LED(带光强度管理器)12 V 100 W卤素灯,100W汞灯,光导
明场/暗场/反射镜分光镜组件手动切换。(反射镜分光镜组件为选配件。)
通过手动操作调整3位编码分光镜组件
内置电动孔径光阑(针对所有物镜预设,暗场自动完全打开)
观察模式:明场、暗场、微分干涉对比度(DIC*1、简易偏振光*1、荧光*1、红外和MIX观察(4个定向暗场)*2
*1
选配分光镜组件,*2 需使用MIX观察配置

透射光照明

透射光照明装置:需使用MX-TILAMX-TILLB
- MX-TILLA
:聚光镜(数值孔径 0.5)和孔径光阑
- MX-TILLB
:聚光镜(数值孔径 0.6)、孔径光阑和视场光阑
光源:LG-LSLEDLED光源)光导:LG-SF
观察模式:明场、简易偏振光

对焦

行程:32 mm
每转行程微调:100 μm
Z
小分度:1 μm
配上限限位器和粗调手柄扭矩调节

Z大载荷重量(包括载物台和支架)

8 kg

15 kg

观察筒

宽视场(FN 22 mm

正像三目镜筒:U-ETR4
正像可调倾角三目镜筒:U-TTR-2
倒像三目镜筒:U-TR30-2U-TR30IR(用于红外观察)
倒置双目镜筒:U-BI30-2
倒像可调倾角双目镜筒:U-TBI30

超宽视场(FN 26.5 mm

正像可调倾角三目镜筒:MX-SWETTR(光程切换100% [目镜]0 [相机] 0100%
正像可调倾角三目镜筒:U-SWETTR(光程切换100% [目镜]0 [相机] 20%80%
倒像三目镜筒:U-SWTR-3

电动物镜转换器

明场
DIC插槽的电动六孔:U-D6REMC
DIC插槽的电动中心补正五孔:U-P5REMC

明场和暗场
DIC插槽的电动六孔:U-D6BDREMC
DIC插槽的电动五孔:U-D5BDREMC
DIC插槽的电动中心补正五孔:U-P5BDREMC
带真空装置的电动版:U-D5BDREMC-VA

载物台(X x Y

带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC8R
行程:210 x 210 mm
透射光照明区域:189 x 189 mm

带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC6R2
行程:158 x 158 mm
(仅适用于反射光)

带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC1412R2
行程:356 x 305 mm
透射光照明区域:356 x 284 mm

重量

35.6kg(显微镜镜架26kg

44kg(显微镜镜架28.5kg

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