奥林巴斯红外显微镜BX53M IR

所属系列：ZJYQ-GYXWHW-OLYMPUS

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产品描述

奥林巴斯红外显微镜BX53M IR产品简介：

电子设备在当今现代科技中已非常普遍。每个人很有可能已经在使用电子设备时，间接遇到并使用了硅晶圆。晶圆是一种薄的半导体材料基材，用于制造电子集成电路。半导体材料种类多样，电子器件中常用的一种半导体材料是硅 (Si)。硅晶圆是集成电路中的关键部分。它由高纯度、几乎无缺陷的单晶硅棒经过切片制成，用作制造晶圆内和晶圆表面上微电子器件的基板。硅晶圆会积累在生长、切割、研磨、蚀刻、抛光过程中的残余应力。因此，硅晶圆在整个制造过程中可能产生裂纹，如果裂纹未被检测到，那些含有裂纹的晶圆就在后续生产阶段中产生无用的产品。裂纹也可能在将集成电路分割成单独 IC 时产生。因此，若要降低制造成本，在进一步的加工前，检查原材料基材的杂质，裂纹以及在加工过程中检测缺陷非常重要。

奥林巴斯红外显微镜近红外一般定义为700-1600nm波长范围内的光线，由于硅传感器的上限约为1100nm，砷化铟镓（InGaAs）传感器是在近红外中使用的主要传感器，可覆盖典型的近红外频带。大量使用可见光难以或无法实施的应用可通过近红外成像完成。当使用近红外成像时，水蒸气、雾和硅等特定材料均为透明，因此红外显微检测被应用于半导体行业的各个方面。

奥林巴斯红外显微镜配置IR专用物镜可用于透过硅材料成像，进行半导体检查和测量。配备的5X到100X红外（IR）物镜，提供了从可见光波长到近红外的像差校正。对于高放大倍率的物镜，配备了LCPLNIR系列带校正环的物镜，校正由样品厚度导致的像差，使用一个物镜即可获取清晰的图像。

奥林巴斯红外显微镜BX53M IR参考规格：

光学系统				UIS2光学系统（无限远校正）
主要装置	显微镜机身			BX53MRF-S （反射）
	焦点			冲程：25mm 每一圈的精细冲程：100μm Z小刻度：1μm 带上限位器，粗手柄扭矩调整
	Z大标本高度			反射：65mm（不带垫片），105mm（带BX3M-ARMAD）反射/透射：35mm（不带垫片），75mm（带BX3M-ARMAD）
	观察镜筒	宽视野（F.N.22）		U-TR30IR 倒置：IR三目镜筒
	照明	反射光	IR观察	BX3M-RLA-S 100W卤素灯，适用于IR、BF/IR、AS（带定心机械装置） U-LH100IR（包括12V 10W HAL-L） 100W卤素灯光源，适用于IR TH4-100 100W电源 TH4-HS 手控开关 U-RMT 延长线
	物镜转盘			U-5RE-2 用于BF：五元件
	目镜（F.N.22）			WHN10X
				WHN10X-H
	滤光片/偏光镜/分析仪			U-BP1100IR/U-BP1200IR 适用于IR的带通滤光片
				U-AN360IR 适用于IR的可旋转分析仪滑块
	电源线缆			UYCP（x2）
	重量			约18.9kg（显微镜机身7.4kg）
物镜	IR套装			LMPLN5XIR、10XIR、LCPLN20XIR、50XIR、100XIR IR观察
载物台（X x Y）	76mm x 52mm套装			U-SVRM、U-MSSP 同轴左手柄载物台/76（X）× 52（Y）mm，带扭矩调整
	100mm x 100mm套装			U-SIC4R2、U-MSSP4 大号同轴左手柄载物台/100（X）x 100（Y）mm，Y轴带锁定机械装置
	100mm x 100（G）mm套装			U-SIC4R2、U-MSSPG 大号同轴右手柄载物台/150（X）x 100（Y）mm，Y轴带锁定机械装置（玻璃板）
	150 mm x 100 mm套装			U-SIC64、U-SHG、U-SP64 大号同轴右手柄载物台/150（X）x 100（Y）mm，带扭矩调整，Y轴带锁定机械装置
	150 mm x 100（G）mm套装			U-SIC64、U-SHG、U-SPG64 大号同轴右手柄载物台/150（X）x 100（Y）mm，带扭矩调整，Y轴带锁定机械装置（玻璃板）
选配	MIX观察套装*			BX3M-CB、BX3M-HS、U-MIXR-2、U-MIXRCBL
	DIC*			U-DICR
	中间镜筒			U-CA、U-EPA2、U-TRU
	滤光片			U-25ND6、U-25ND25、U-25LBD、U-25LBA、U-25Y48、U-AN360-3、U-AN360P、U-PO3、U-POTP3、U-25IF550、U-25L42、U-25、U-25FR
	聚光镜滤光片			43IF550-W45、U-POT
	载物台板			U-WHP64、BH2-WHR43、BH2-WHR54、BH2-WHR65、U-WHP2
	样品托架			U-HRD-4、U-HLD-4、U-HRDT-4、U-HLDT-4
	手柄橡胶			U-SHG、U-SHGT

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