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奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT™OLS5100

所属系列:ZJYQ-GYXWLSCM-OLYMPUS


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产品描述

奥林巴斯激光共焦显微镜采用了较佳光学系统,可通过非破坏观察法生成高画质的图像并进行JQ3D测量。其准备操作也非常简单且无需对样本进行预先处理。

具有高精度和光学性能的LEXTOLS5100激光扫描显微镜配备了让系统更加易于使用的智能工具。其能够快速完成亚微米级形貌和表面粗糙度的测量任务,既简化了工作流程又能让您获得可信赖的高质量数据。


LEXT OLS5100 3D激光扫描显微镜

用于材料分析的激光显微镜

更智能的工作流程,更快速的实验设计

适用于故障分析和材料工程研究的奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT™OLS5100将测量精度和光学性能与智能工具相结合,让显微镜更加方便使用。通过快速JQ测量亚微米级形状和表面粗糙度的可靠数据简化您的工作流程。

LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。与智能物镜选择助手(Smart Lens Advisor)搭配使用,就可获得可靠的高精度数据。

较高测量准确度*

奥林巴斯享誉世界的光学器件能够以更低像差在整个视场中捕捉样品的真实形貌

智能物镜选择助手(Smart Lens Advisor)还可帮助您选择合适的物镜进行粗糙度测量

奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT™OLS5100型号:

OLS5100-SAF

100毫米电动载物台

Z大样品高度:100 mm (3.9 in.)


OLS5100-EAF

100毫米电动载物台

Z大样品高度:210 mm (8.3 in.)


OLS5100-SMF

100毫米电动载物台

Z大样品高度:40 mm (1.6 in.)


OLS5100-LAF

300毫米电动载物台

Z大样品高度:37 mm 1.5 in.


奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT™OLS5100主机技术参数:

型号

OLS5100-SAF

OLS5100-SMF

OLS5100-LAF

OLS5100-EAF

 

总倍率

54x–17,280x

 

视场

16 µm–5,120 µm

 

测量原理

光学系统

反射式共焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜
颜色
彩色DIC

 

光接收元件

激光:光电倍增管(2通道)
彩色:CMOS彩色相机

 

高度测量

显示分辨率

0.5 nm

 

动态范围

16

 

重复性σn -1*1 *2 *5

5X0.45 μm, 10X0.1 μm, 20X0.03 μm, 50X0.012 μm, 100X0.012 μm

 

准确度*1 *3 *5

0.15 + L / 100μmL:测量长度[μm]

拼接图像准确度*1 *3 *5

10X5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接长度[μm])

测量噪声(Sq噪声)*1 *4 *5

1 nm(典型值)

宽度测量

显示分辨率

1 nm

重复性3σn-1  *1 *2 *5 

5X0.4 μm, 10X0.2 μm, 20X0.05 μm, 50X0.04 μm, 100X0.02 μm

准确度*1 *3 *5

测量值+/- 1.5%

拼接图像准确度*1 *3 *5

10X24+0.5L μm, 20X15+0.5L μm, 50X9+0.5L μm, 100X7+0.5L μm (L:拼接长度[mm]

单次测量时Z大测量点数量

4096 × 4096像素

Z大测量点数量

3600万像素

XY载物台配置

长度测量模块

不适用

不适用

工作范围

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手动

300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动

Z大样品高度

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)

30 mm (1.2 in.)

30 mm (1.2 in.)

210 mm (8.3 in.)

激光光源

波长

405 nm

Z大输出

0.95 mW

激光等级

2级(IEC60825-12007IEC60825-12014

彩色光源

白光LED

电气功率

240 W

240 W

278 W

240 W

质量

显微镜主体

31 kg

32 kg

50 kg

43 kg

控制箱

12 kg

*1 ISO554(1976)JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证(温度:20?C±1?C,湿度:50±10%),如ISO5541976)、JIS Z-87031983)所规定。
*2
在使用MPLAPON LEXT系列物镜测量时倍率20x或更高。
*3
在使用专用LEXT物镜测量时。
*4
使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值。
*5
基于奥林巴斯认证系统下的保证。

** Window 10OS许可已通过奥林巴斯提供的显微镜控制器认证。


奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT™OLS5100物镜技术参数:

系列

型号

数值孔径(NA

工作距离(WD)(mm

UIS2?物镜

MPLFLN2.5x

0.08

10.7

MPLFLN5x

0.15

20

专用LEXT物镜(10X

MPLFLN10xLEXT

0.3

10.4

专用LEXT物镜(高性能型)

MPLAPON20xLEXT

0.6

1

MPLAPON50xLEXT

0.95

0.35

MPLAPON100xLEXT

0.95

0.35

专用LEXT物镜(长工作距离型)

LMPLFLN20xLEXT

0.45

6.5

LMPLFLN50xLEXT

0.6

5.2

LMPLFLN100xLEXT

0.8

3.4

超长工作距离物镜

SLMPLN20x

0.25

25

SLMPLN50x

0.35

18

SLMPLN100x

0.6

7.6

适用于LCD样品的长工作距离物镜

LCPLFLN20xLCD

0.45

8.3-7.4

LCPLFLN50xLCD

0.7

3.0-2.2

LCPLFLN100xLCD

0.85

1.2-0.9

奥林巴斯激光共聚焦显微镜LEXT™OLS5100应用软件:

标准软件

OLS51-BSW

数据采集app

分析应用程序(简单分析)

电动载物台套件应用*1

OLS50-S-MSP

GJI分析应用*2

OLS50-S-AA

薄膜厚度测量应用

OLS50-S-FT

自动边缘测量应用

OLS50-S-ED

颗粒物分析应用

OLS50-S-PA

智能实验管理助手应用

OLS51-S-ETA 

球体/圆柱体表面角度分析应用

OLS50-S-SA 

*1包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
*2
包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。

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