当需要对晶圆样品的电路图案和颜色进行显微观察时,传统的方法是对前者进行暗场照明、对后者进行明场照明,并在这两种技术之间反复切换。因为在创建报告时需要为每种技术采集图像,所以这种观察方法非常耗时。
晶圆明场 晶圆暗场
奥林巴斯的解决方案用于执行半导体/FPD检测的MX63/MX63L工业显微镜提供了一种可有效替代传统观察方法的解决方案:MIX 照明功能。利用MIX照明功能,可同时观察晶圆的电路图案和颜色信息。MIX图像的锐度和清晰度可帮助提高工作效率和改进报告生成过程。
晶圆MIX
产品功能
来源:奥林巴斯网站