本设备为非接触无损测量设备，测试过程中对硅片表面以及内部不会造成损伤。特别适用于代替四探针法用于半导体硅片成品分选检验。一台仪器可以同时对厚度和电阻率两个指标进行测试分选，减少了测试工序和测试时间，提高了测试效率。
非接触厚度电阻率测试仪仪器构成：
1、测试主机：1 台
2、电源线：1 根
3、串口数据线：1 根
4、电脑端软件：1 套  
5、塑料定位柱：2 个
主要指标 ：
样品要求：厚度小于 600um 的半导体硅片以及其他类似材料。
电阻率范围：L 档： 0.2-5 Ω•cm   H 档： 5-50Ω•cm
厚度范围：100-600 um