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EM8200超高分辨场发射扫描电镜
产品简介
EM8200超高分辨场发射扫描电镜
产品特点：新一代低像差物镜、减速样品台、低压高分辨成像
低噪声Inlens探测器
自动推入式背散射探测器
全新的用户界面设计
丰富的软件测量功能
应用领域：
EM8200超高分辨场发射扫描电子显微镜，采用全新电子光学设计，基于减速样品台、新一代低像差物镜、Inlens探测器等技术，集成丰富的图像处理功能，为新能源、半导体等用户提供全新解决方案。
技术参数：
分辨率——SE 0.8nm@15kV、1.5nm@1kV
放大倍数——1x-1600000x；光学放大 1x-100x
电子枪——Schottky 肖特基场发射电子枪
加速电压——0.2kV-30kV
探测器配置——高真空二次电子探测器、半导体四分割背散射探测器、红外CCD摄像头、Inlens探测器
样品台——五轴自动大样品台
外形尺寸——电子光学镜筒部分：1000×1000×1730(mm)
电器柜控制部分：1330×850×740(mm)
选配附件——EDS/EBSD/STEM/CL/LoadLock过渡仓/加热台/冷台/拉伸台等
