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高分辨肖特基场发射扫描电镜SU7000
产品简介
SU7000是一台实现了获取大量信息的新型扫描电镜，可以满足客户的多种观察需求。
接下来请欣赏SU7000带来的多彩世界。
*图为包含选配项的SU7000示意图
日本日立高分辨肖特基场发射扫描电镜SU7000核心理念：
1.采用优的成像技术
SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统，使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号，用户可以在短时间内获得更的样品信息。
2.采用多通道成像技术
随着用户对成像需求的不断增长，SU7000特新增了几种探测器，还引进了相应的成像功能。SU7000多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的更大化。
3.支持不同形状样品、多种观察方法
大型样品观察
低真空观察
低温观察
实时观察
等所需的样品仓和真空系统都十分完备，观察方法也是一应俱全。
4.支持微纳解析
采用肖特基发射电子枪，大束流可达到200 nA，适用于各种微纳解析。样品仓形状和接口设置支持EDX分析、EBSD、阴荧光分析等，接口设备可通过选配附件满足各种特殊需求。
日本日立高分辨肖特基场发射扫描电镜SU7000规格：
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项目 |
内容 |
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图像分辨率 |
二次电子分辨率 |
0.8 nm/15 kV |
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0.9 nm/1 kV |
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放大倍率 |
20～2,000,000 x |
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电子枪 |
发射体 |
ZrO/W热场发射（肖特基热场发射） |
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加速电压 |
0.1～30 kV （步进：0.01 kV） |
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束流 |
大200 nA |
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探测器 |
标准探测器 |
UD （上探测器) |
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MD （中探测器） |
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LD （下探测器) |
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选配探测器*1 |
PD-BSED (半导体式背散射电子探测器） |
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UVD（高灵敏度低真空探测器 ） |
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低真空模式*1 |
样品仓压力范围 |
5～300 Pa |
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可使用探测器 |
PD-BSED, UVD, UD, MD, LD |
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马达台 |
马达台控制 |
5轴马达驱动 |
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移动范围 |
X |
0～135 mm |
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Y |
0～100 mm |
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Z（WD） |
1.5～40 mm |
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T（倾斜角） |
-5～70° |
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R（旋转角） |
360° |
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样品尺寸 |
大直径：φ200 mm, 大高度：80 mm |
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显示器*1 |
23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持双屏 |
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图像显示模式 |
全屏显示模式 |
1,280×960像素显示 |
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单屏显示模式 |
800×600像素显示 |
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双屏显示模式 |
800×600像素显示、1,280×960像素显示 *2 |
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四屏显示模式 |
640×480像素显示 |
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六屏显示模式*2 |
640×480像素显示 *2 |
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图像数据保存 |
保存图像尺寸 |
640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 |
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选配附件 |
能谱仪（EDX） |
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X射线波谱仪（WDX） |
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电子背散射衍射（EBSD） |
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阴荧光探测器（CL) |
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冷冻传输系统 |
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各种功能样品台 |
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*1为选配项。
*2支持双屏显示。
