首页产品中心
SU5000热场式场发射扫描电镜
产品简介
▲高性能电子光学系统
二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊
高灵敏度: PD-BSD, 强的低加速电压性能，低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于微区分析
▲性能优良
压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)＊
开仓室快速简单换样(大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微区分析: EDS, WDS, EBSD等等
*选配附件
电子显微镜(EM)品牌进口|HITACHI日立扫描电子显微镜|SU5000热场式场发射扫描电镜规格：
|
项目 |
内容 |
|
|
分辨率 |
1.2 nm @ 30 kV |
|
|
放大倍率 |
10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) |
|
|
电子光学系统 |
电子枪 |
ZrO /W 肖特基式电子枪 |
|
加速电压 |
0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进) |
|
|
着陆电压 |
减速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1 |
|
|
大束流 |
> 200 nA |
|
|
探测器 |
低位二次电子探测器 |
|
|
低真空模式*2 |
真空范围: 10 - 300 Pa |
|
|
马达台 |
马达台控制 |
5 - 轴自动 (优中心) |
|
可动范围 |
X：0～100mm |
|
|
大样品尺寸 |
大直径: 200 mm |
|
|
选配探测器 |
高分辨率顶位二次电子探测器＊1 高灵敏度低真空探测器 (UVD) 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3 能谱仪 (EDS) 波谱仪 (WDS) 背散射电子衍射探测器 (EBSD) |
|
*1：减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器）
*2：低真空功能（包含5分割半导体探测器）
*3：空压机(本地采购)
