该仪器通过光谱反射原理来测量涂层厚度，可以测量涂层或薄膜的膜厚，基本所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量，适用于具有透光性的氧化物、氮化物、光刻胶、聚合物、半导体薄膜、硬质涂层、聚合物薄膜和涂层等材质。可靠性高、可追溯性高、重复性好，易于使用。

光学膜厚仪FT-100测量原理：

从薄膜界面及基体界面反射的光束之间的光学相位差，光束之间的干涉将相位差转换为光学强度谱，光谱包含着膜厚信息。

光学膜厚仪FT-100典型应用：

太阳能电池：TCO、CIG、CdS、CdTe；

液晶显示：LCD, FPD，ITO和其他ICO等；

光学镀膜: 减反涂层、硬涂层等；

半导体薄膜：氧化物、氮化物、有机发光二极管等。