国产电镜|钨灯丝扫描电子显微镜|EM69系列钨灯丝扫描电镜
产品特点:
兼容低真空模块
丰富的自动化功能
支持定制化
选配多功能超大样品仓
大视野导航相机
拓展丰富
技术参数:
分辨率——EM6910/6920 SE:3nm@30kV,8nm@3kV; BSE :4nm@30kV(选配)
样品台——EM6910 五轴自动中样品台,EM6920 五轴自动大样品台
加速电压——EM6910/6920 0.2kV-30kV
探测器——EM6910/6920 二次电子探测器、半导体四分割背散射探测器(选配)、红外 CCD、低真空二次电子探测器(选配)
灯丝——EM6910 预对中钨灯丝,六硼化镧(选配),EM6920 预对中钨灯丝,六硼化镧(选配)
外形尺寸:
EM6910
(1)电子光学镜筒部分:850×880×1650(mm)
(2)电器柜控制部分:1340×850×740(mm)
EM6920
(1)电子光学镜筒部分:1000×1000×1700(mm)
(2)电器柜控制部分:1340×850×740(mm)
产品特点:
预抽室-LoadLock :样品直径:≤75mm,高≤15mm;换样时间:≤2min; 换样杆配备锁定功能,防脱落
多功能精密调节模块:放大倍数粗调及细调、电对中、聚焦调节、消像散调节 、亮度及对比度调节、电位移调节等。
选配附件:
EM6910:EDS/EBSD/ STEM/CL/加热台 / 冷台 / 拉伸台等
EM6920:EDS/EBSD/STEM/CL/LoadLock/预抽室 / 加热台 / 冷台 / 拉伸台等