半导体晶圆装载机NWL200系列

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半导体晶圆装载机NWL200系列

产品简介

半导体晶圆装载机NWL200系列特点：
•半导体生产中的高可靠性
例如，当电源意外中断时，宏支臂的真空卡盘保持激活状态，允许安全取出晶圆。
•宏观检查功能
支持半导体晶圆前图案侧、后周边和中心区域检测。可自动或手动设置晶圆旋转速度和倾斜角度。
•专为大产量而设计
带有非接触式定心机构的快速晶圆盒升降器可使用多支臂系统快速对齐晶圆，以高精度装载和卸载晶圆。
•人体工程学设计理念
NWL200符合人体工程学设计，易于操作和控制。
向左转35度时，轻松进行晶圆入槽定位和全盒交换。

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021-36400739