型号

AFM5500M

尺寸・重量

装置外观尺寸・重量※1

750 mm(W) x 877 mm(D) x 1400 mm(H)、约361 kg

AFM主机外观尺寸・重量※1

340 mm(W) x 502.5 mm(D) x 546 mm(H)、约31.6 kg

检测系统

检测方式

光杠杆法

光源

SLD（发光二管激光器）

悬臂加振方式

压电激振

规格

基本规格

RMS噪音水平※2

≤0.04 nm

重现性※2

XY ≤ 15 nm（3σ、10 μm垂直间隙测量）
Z≤1 nm（3σ、100 nm深度测量）

XY正交性※2

90°±0.5°（在扫描角度0°、45°、90°时）

平坦度（圆弧误差）※2

≤2 nm/50 μm

大样品尺寸

大 φ100 mm（4英寸）、厚度 20 mm、重量 2 kg

扫描器（扫描范围）

XY:大 200 μm/Ｚ:大 15 μm（XY:闭环控制/Z: 位移传感器测量）

光学显微镜视野※3

放大倍率: 1X～7X
910 μm ×650 μm～130 μm×90 μm

基本功能

AFM、DFM、PM（相位）、FFM

减震隔音机构

台式主动减震台、隔音罩

自动精密马达台

大观察范围

直径 100 mm（4英寸）

马达台移动范围

XY≥100 mm、Z≥21 mm

小步进※4

XY 2 μm、Ｚ 0.04 μm

AFM主机

RealTuneⅡ

自动调节悬臂振幅、接触力、扫描速度以及信号反馈

操作界面

导航功能、多窗口显示功能（测试/分析）、3D图像叠加功能、扫描可动范围/测量记录显示功能、数据批处理分析功能、探针评价功能、样品台对中功能、程序功能、故障诊断功能

实时测量（像素点）

四通道测量（大2048x2048)
双通道测量（大4096x4096)

长方形扫描

2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、
128:1、256:1、512:1、1024:1

数据分析

三维显示功能、线粗糙度分析、面粗糙度分析、截面图（任意、平均）

自动控制功能

自动更换悬臂、光轴自动调节

选配功能

测量环境

大气环境

扩展测量模式（选配）

SIS形貌、SIS物性、SIS-ACCESS、SIS-QuantiMech（弹性模量测定功能）
机械物性系统（LM-FFM、VE-AFM、Adhesion）
电气特性Ⅰ（KFM（AM/FM）、EFM（AC/DC)、PRM、MFM）
电气特性Ⅱ（SSRM、Current（Nano）、Current（Pico））

其他功能（选配）

高至100 V 偏压放大器、
外部偏压输入电缆、软X射线静电消除装置、紧急停机键

共享坐标样品台功能
（选配）

AFM标记

样品厚度

4 mm以下

SEM-AFM

大样品尺寸

φ20 mm、厚度 7 mm

对中精度

≤±10 μm（AFM对中精度）

支持型号

欢迎垂询。

CSI-AFM

大样品尺寸

φ80 mm、厚度 7 mm

对中精度

≤±10 μm（AFM对中精度）

支持型号

欢迎垂询。

电源

AC 100～240 V±10％、单相、50/60 Hz、15A、1系统、D种接地、带接地