项目

说明

放电

类型

磁控二管放电型(电场垂直于磁场)

电组成

反向平行盘(嵌入磁铁)

电压

大 0.4 kV DC(直流可变)

电流

大 40 mA DC

喷镀速率 *1(大)
[条件]
压力：7 Pa
放电电流：40 mA
标靶与样品表面之间的距离：20 mm

Pt 靶(选配件)

15 nm/min

Pt-Pd 靶(选配件)

20 nm/min

Au 靶(选配件)

35 nm/min

Au-Pd 靶(选配件)

25 nm/min

样品尺寸

大直径

φ60 mm

大高度

20 mm

机械泵

135/162 l/min (50/60Hz)

靶材*2

Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)

电源要求

单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m)

尺寸

宽度

450 mm

长度

391 mm

高度

390 mm

重量

主机：约 22 kg
机械泵：约 30 kg