日立FlexSEM 1000 II扫描电子显微镜

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日立FlexSEM 1000 II扫描电子显微镜

产品简介

FlexSEM 1000 II，凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器，可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新的用户界面，具有亮度和对焦自动调节功能，可以在短时间内进行各种观察。此外，还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”，这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点，实现直观的视野移动。
尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型*1电子显微镜，仍可实现4.0 nm的分辨率
凭借特的高灵敏度二次电子、背散射电子检测器、低真空检测器（UVD*2），可在低加速/低真空下观察时实现高的画质
全新的用户界面，无论用户的熟练程度如何，都可实现高画质和高处理能力
全新的定位功能“SEM MAP”，支持观察时的视野搜索和样品定位
*1 设置到桌面上时，请将机体与电源盒分离

*2 选项

日立扫描电子显微镜行业应用示例：

日立FlexSEM 1000 II扫描电子显微镜规格：

项目	内容
分辨率*3	4.0 nm（二次电子像、加速电压：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次电子像、加速电压：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射电子像、加速电压：20 kV、低真空模式）
加速电压	0.3 kV～20 kV
倍率	×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （显示器显示倍率）
低真空设置	6～100 Pa
电子枪	预对中钨灯丝电子枪
样品台	3轴马达驱动样品台 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° 大可观察范围：直径64mm（R联用）*4
大样品尺寸	直径80 mm（选配：直径153mm）
大样品高度	40 mm
尺寸	机体：450（宽度）×640（进深）×690（高度） mm 电源盒：450（宽度）×640（进深）×450（高度） mm
选项	高度低真空检测器（UVD2.0）能量色散型X射线检测器（EDS）
软件	Multi Zigzag（连续视野图像导入功能）

*PC、桌子、监控器由客户准备

*3机体和电源盒连接时候

*4使用标准支架时

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021-36400739