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蔡司材料显微镜Axio Imager Vario
产品简介
蔡司材料显微镜Axio Imager Vario简介：
用于检测大尺寸样品的蔡司正置式显微镜Axio Imager Vario
检查大尺寸样品–满足自动化洁净室的要求
具有两种手动机柱和一种电动机柱（配有符合工业标准的三个模式控制按钮）可供选择，充分利用显微镜的大横向样品空间300 mm x 300 mm和大样品高度254 mm的。
Axio Imager Vario能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这意味着即便是较重的样品，依然可以获得高聚焦精度和可重复性。
借助硬件自动对焦功能，可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。
将Axio Imager Vario与LSM 900结合使用，能够以高分辨率无接触地分析样品
用于检测大尺寸样品的蔡司正置式显微镜Axio Imager Vario
检查大尺寸样品–满足自动化洁净室的要求
从尺寸小的MEMS传感器到大尺寸晶圆，甚至整个平板显示器，检测期间不会对样品造成破坏。Axio Imager Vario支持的大样品高度为254 mm，大横向样品空间为300 mm，拓展了可以测试的样品范围。机柱设计确保了良好的稳定性。可满足在洁净室内检测晶圆的应用要求。利用驱动Z轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至聚焦位置。
半导体生产和晶圆检测需要在洁净室内进行。根据DIN EN ISO 4644-标准，以每立方米的颗粒数量和大小将洁净室划分成不同等级。Axio Imager Vario已通过此标准认证，并满足5级洁净室的应用要求。ISO 5级洁净室相当于原先标准FED STD 209E（992）的00级。洁净室套件中包含一个7x物镜转盘、一个颗粒保护罩和防喷嚏保护罩。
具有两种手动机柱和一种电动机柱（配有符合工业标准的三个模式控制按钮）可供选择，充分利用显微镜的大横向样品空间300 mm x 300 mm和大样品高度254 mm的。
Axio Imager Vario能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这意味着即便是较重的样品，依然可以获得高聚焦精度和可重复性。
借助硬件自动对焦功能，可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。
将Axio Imager Vario与LSM 900结合使用，能够以高分辨率无接触地分析样品
Axio Imager Vario已通过DIN EN ISO 4644-认证，并满足5级洁净室的应用要求。
