首页产品中心
300mm晶圆自动搬送机AL120-12
产品简介
300mm晶圆自动搬送机AL120-12简介：
AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。
n人机工程学设计，操作方便
=可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。
=分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型。
n坚固、可靠和安全传送
=延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性，能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
=薄片，Warped晶圆皆能安全搬送。
=宏观观察位置的优化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作舒适性。
300mm晶圆自动搬送机AL120-12技术规格：
|
自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格 |
||
|
AL120-LMB12-LP3 |
AL120-LMB12-F |
|
|
晶圆尺寸 |
300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可选：200 mm |
|
|
卡盒 |
●FOUP（Front Opening
Unified Pods）前开门标准夹 |
●FOSB（Front Opening
Shipping Box）前开门搬运盒 |
|
卡盒数 |
单盒（装载、卸载兼用） |
|
|
卡盒设置高度 |
900 mm |
|
|
装载端口 |
有 |
无 |
|
搬运顺序 |
表面宏、内面宏、显微镜检查 |
|
|
检查模式 |
全部检查、抽样检查 |
|
|
晶圆校准 |
非接触式中心环 |
|
|
晶圆搬运方式 |
真空吸附机械搬运 |
|
|
适用显微镜 |
半导体检查显微镜MX61L |
|
|
应用环境 |
AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz |
AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz |
|
载物台 |
XY手动吸附载物台，有XY粗调／微调和360度旋转机构 |
|
|
重量（不包括显微镜） |
约360 kg |
约270 kg |
